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发明名称
摘要
申请公布号	JP3572814(B2)	申请公布日期	2004.10.06
申请号	JP19960190955	申请日期	1996.07.19
申请人		发明人
分类号	C22C1/04;C23C24/08;H01L35/16;H01L35/34;(IPC1-7):H01L35/16	主分类号	C22C1/04
代理机构		代理人
主权项
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