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发明名称
摘要
申请公布号 JP3572738(B2) 申请公布日期 2004.10.06
申请号 JP19950224327 申请日期 1995.08.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/316;H01L21/82;H01L27/10;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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