组织均匀的高熔点金属板及其制造方法

摘要

一种从必需纯度的钽锭或铌锭制造溅射靶的方法(10)，包括将锭切割成较短长度的工件(12)和交替沿着正交加工轴对锭进行压力加工(14，22，30，34)的过程。按需要采取中间退火(18，26，38)使整个靶体的厚度、面积范围内和中心处都形成均匀的组织。该均匀组织是(100)和(111)取向的两种晶粒基本固定比例的混合，为控制薄膜厚度提供了一个更可预知的溅射速度，从而改善溅射效果。

主权项

1.一种高熔点金属板，其特征在于具有厚度、中心和边缘，所述中心直至边缘，整个所述厚度范围内组织在均匀的。