夹紧装置及带倾斜功能的垂直方向驱动定位装置

摘要

本发明提供一种夹紧装置，能进行Z轴方向平移和倾斜动作，并且即使受到水平方向或向下方向的加速度作用，也会消除位置偏移。设有3组由放置在支承构件(107～109)上的球(13～15)和在下部具有该球的接受部(16－1～18－1)且使该接受部与上述球的上部相接触的夹紧轴(16～18)组成的组合。上述夹紧轴由上述接受部和由此开始向上方延伸的轴部(16－2～18－2)构成。在上述支承构件侧固定着支座(104～106)，以使上述轴部可倾斜地向上方突出的状态保持上述球和上述夹紧轴的组合，盘簧(101～103)介于上述接受部和上述支座之间，将该接受部弹向下方。

主权项

1.一种夹紧装置，其特征在于，设有多组由放置在支承构件上的球和夹紧轴组成的组合，该夹紧轴在下部具有该球的接受部，并使该接受部与上述球的上部相接触；上述夹紧轴由上述接受部和由此开始向上方延伸的轴部构成；在上述支承构件侧固定着支座，以使上述轴部可倾斜地在上方突出的状态，保持上述球和上述夹紧轴的组合；介于上述接受部和上述支座之间，设有将该接受部弹向下方的弹簧构件。