等离子体处理装置和使用该装置的等离子体产生方法

摘要

一种等离子体处理装置，利用点火电极方便地启动装置而不使用昂贵的阻抗匹配设备，能可靠地产生大气压力等离子体。该装置包括：具有孔的产生等离子体的室，等离子体从该孔吹出；气体供应单元，用于将产生等离子体的气体送入室中；一对电极；电源，用于在电极之间施加交流电场以维持室内的等离子体；用于提供脉冲电压的脉冲发生器；以及点火电极，用于对室内所送入的气体施加脉冲电压以产生等离子体。以及一种使用该等离子体处理装置的等离子体产生方法，该方法包括步骤：将产生等离子体的气体送入所述室，再利用所述点火电极向实质上等于大气压力的压力下的所述气体供给脉冲电压，以便在所述室中产生等离子体。

主权项

1.一种等离子体处理装置，用于以实质上等于大气压力的压力下产生的等离子体来处理对象，所述装置包括：具有孔的产生等离子体的室，所述等离子体从该孔吹出；气体供应单元，用于将产生等离子体的气体送入所述室；一对电极；电源，用于在所述电极之间施加交流电场以维持所述室内的所述等离子体；用于提供脉冲电压的脉冲发生器；以及点火电极，用于对所述室内所送入的所述气体施加所述脉冲电压以产生等离子体。