发明名称 Liquid dispensing apparatus and method
摘要
申请公布号 EP0909610(B1) 申请公布日期 2004.10.06
申请号 EP19980308357 申请日期 1998.10.13
申请人 THE BOC GROUP, INC. 发明人 POZNIAK, PETER M;ROBERTS, BENJAMIN R
分类号 B67D7/36;B24B37/04;B24B57/02;B67D7/72;F17D1/14;H01L21/306;(IPC1-7):B24B37/04 主分类号 B67D7/36
代理机构 代理人
主权项
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