发明名称 积体电路制造厂之晶圆下货计划排程方法与积体电路产品制造方法及其积体电路产品
摘要 一种积体电路制造厂之晶圆下货计划排程方法,首先,决定瓶颈机台每日之合理在制品水位。接着,依据积体电路制造厂中之整体产能限制、主生产排程输出目标需求、与瓶颈机台每日之合理在制品水位,决定积体电路制造厂每日之晶圆下货数量。之后,计算相应每一批货之危急率,且依据每一批货之危急率大小与积体电路制造厂每日之晶圆下货数量,由小至大将批货进行排程,从而完成积体电路制造厂之晶圆下货计划。最后,依据每一批货之生产限制调整晶圆下货计划。
申请公布号 TW200419629 申请公布日期 2004.10.01
申请号 TW092115511 申请日期 2003.06.09
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 吴侃;骆江州;赖柏均;陈续仁;简明正;洪魏嘉
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 洪澄文;颜锦顺
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区园区三路一二一号