利用遮光手段的曝光装置,曝光方法,薄膜电晶体的制造方法,显示装置及电子机器

摘要

本发明的目的是在于提供一种可以高密度来形成不同的曝光区域，且具有适合于缩小装置全体大小的构成之曝光装置。其解决手段是在用以曝光任意的曝光区域之曝光装置中具备：曝光射束的照射装置(280)，其系具有用以曝光上述曝光区域的规定射束宽(B)；遮光板(S)，其系至少具有相当于曝光射束的射束宽的宽度；及驱动装置(110)，其系藉由驱动上述遮光板来遮断上述曝光射束的一部份或全部，阻止该曝光射束(B)到达上述曝光区域(DA)以外的区域。