滙集多点均质化光学系

摘要

使用均化器DOE使具备高斯分布之雷射光束在一定范围内成大致均匀的强度分布，进而以具有分歧作用之DOE将该雷射光束分成多数分歧光束时，分歧光束之微观强度系于空间上不一致且会波动。本发明之目的系减少分歧光束之强度的波动。本发明系于均化器DOE之焦点位置，设一具有尺寸大于光束尺寸的开口部之有孔光罩，以遮断光束外之杂讯部分。由于不可截去光束之一部份，故使用窗口大于光束尺寸的有孔光罩，设定使光束不接触到窗口。