形成同心图案的方法

摘要

一种形成同心图案的方法。此方法系于一基底上先形成一材料层，再于材料层上形成一图案化光阻层。然后，于图案化光阻层侧壁形成一矽化光阻层，再去除图案化光阻层。接着，以矽化光阻层为罩幕，去除暴露出之材料层。最后，去除矽化光阻层即可得到同心图案。由于前述方法仅需进行一道图案化光阻层的制程，因此可依照所需轻易获致各种形状的环状图案，而不会有重叠失误的情形发生。