| 主权项 |
1.一种真空配管灾害防止装置,主要于半导体IC及液晶TFT-LCD等制程之真空配管及排气管装设温度及O2侦测器,以供侦侧制程气体、可燃性气体之浓度及温度,以防止因管路渗入空气或异常升温,造成燃烧反应之灾害。2.如申请专利范围第1项所述之一种真空配管灾害防止装置,在其中,该真空配管及排气管系装设有压力侦测器,以供侦测管路之压力变化。3.如申请专利范围第1项所述之一种真空配管灾害防止装置,在其中,真空配管及排气管又装设有UV侦测器,以供侦测管内之紫外线变化,进而检查是否存在火苗。4.如申请专利范围第1项所述之一种真空配管灾害防止装置,在其中,该真空配管及排气管又装设有流速侦测器,以供侦测气体之流速及流动方向,进而检查是否存在回火回流。5.如申请专利范围第1项所述之一种真空配管灾害防止装置,在其中,该真空配管及排气管系装设有氮气气动阀,俾于侦测器测得异常时,自动开启气动阀使管路内充满氮气,以达到灭火作用。6.如申请专利范围第1项所述之一种真空配管灾害防止装置,在其中,该等侦测器系连接于一控制器,藉由该控制器构成对各种侦测信号之处理。7.如申请专利范围第6项所述之一种真空配管灾害防止装置,在其中,该控制器系连接于一计数器,俾定期储存、列印、显示侦测之数据。8.如申请专利范围第6项所述之一种真空配管灾害防止装置,在其中,该控制器系透过CC Link与HUB连接,并与电脑连接,俾将测得之数据传输至电脑,经由电脑将紧急讯号传至维修人员手机。图式简单说明:第一图系本发明之配线方块图。第二图系本发明防护装置电路方块图。第三图系本发明侦测器之配线方块图。 |
