曝光装置

摘要

【课题】以提供可得到高的照明效率并且可均匀地曝光的曝光装置为课题。【解决手段】一种曝光装置，包含：光源，与由此光源供给光的光学积分器，与被经由此光学积分器的光照明的二次元空间调变元件，其中配设朝光学积分器射出光的光纤束端部174E于光源，令由射出侧看的光纤束端部174E的射出区域192与光学积分器的射出面的轮廓形状为略相似形。据此，因可照射由光纤束端部174E射出的光的大部分于照明设定区域，故可得到高的照明效率并且可均匀地曝光。