铜薄膜的电镀方法

摘要

一种铜薄膜的电镀方法。系在电镀过程中，使用一含有胺基的有机添加物掺杂氮于一铜薄膜中，增加铜薄膜表层内的氮原子浓度，以防止铜薄膜表面在进行化学机械研磨时发主腐蚀的问题。