应用半调型相移式光罩之图案形成方法

摘要

一种半调型相移式光罩，其至少系由光罩基底、半调型相移层、遮蔽层所构成。半调型相移层覆盖于光罩基底表面上，且半调型相移层呈条状。遮蔽层覆盖于半调型相移层两末端，并暴露部分半调型相移层，且遮蔽层之宽度大于半调型相移层之宽度。