| 摘要 |
本发明系一种内建于射出模具的高周波快速加热器组成，可用于制作微系统晶片所需的微流道、微通道、凹穴等细微图案于塑胶材料之上。其特征包括采用如光碟射压成型模具的制作方法及微机电之电铸技术，将微特征结构嵌入于压模板(stamper)之上，并以微机电制程制作高周波加热器模组于压模板背面，微特征结构的材料其导磁性或感应加热能力，因高于压模板材料的导磁性或感应加热能力，所以设置于压模板背面的高周波加热器模组，在通电时得以穿透压模板对细微结构进行相对快速的局部加热。透过此快速加热的特性，使塑料在结构细微处或厚薄变异较大处，于充填与压缩行程时，得以完成良好流动。另外若于可动模设置压模板与加热器之外，于固定模也设置相应的压模板，则此射出压缩成型技术可达到晶圆级的三维精密射出，制作出微射出机的三维射出件如微型齿轮等。 |
