| 摘要 |
本发明为一种利用光栅绕射原理所建立之四自由度量测系统，系利用一雷射光入射至一反射式光栅上，产生零阶、正负一阶绕射光；并将正负一阶绕射光，分别由两组二维位置感测器接收，当光栅偏摆时会改变正负一阶绕射光方向，亦改变入射至两组位置感测器之位置，当雷射光入射至位置感测器之位置不同时，两组位置感测器输出两组二维位移讯号，利用该两组二维位移讯号，可计算出一垂直光栅面方向自由度位移量与绕三轴旋转角度之三自由度变化量，如此构成一四自由度量测系统。该四自由度量测系统可与业界量测设备结合，增加其多自由度量测，以提供同时量测多自由误差。 |
