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发明名称 LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 SG106121(A1) 申请公布日期 2004.09.30
申请号 SG20030000239 申请日期 2003.01.30
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 GIJSBERTSEN, JOHANNES GERARDUS;DE JAGER, PIETER WILLEM HERMAN;NIJKERK, MICHIEL DAVID
分类号 G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03F9/00;H01J37/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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