| 发明名称 |
Micromirror and products using the same |
| 摘要 |
A product comprising a micromirror comprising a reflective layer and a treatment layer overlying the reflective layer, and wherein the treatment layer comprises Ti.
|
| 申请公布号 |
US2004190108(A1) |
申请公布日期 |
2004.09.30 |
| 申请号 |
US20030401942 |
申请日期 |
2003.03.27 |
| 申请人 |
TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD. |
发明人 |
YEH CHIH-CHIEH;CHANG YUH-HWA;PO CHING-HENG;HUANG HSIN-CHIEH;TZENG JIANN-TYNG |
| 分类号 |
G02B26/08;(IPC1-7):G02B26/00 |
主分类号 |
G02B26/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
