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发明名称 A METHOD TO FORM SHALLOW TRENCH ISOLATIONS
摘要
申请公布号 SG106060(A1) 申请公布日期 2004.09.30
申请号 SG20010005922 申请日期 2001.09.27
申请人 CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING, LTD 发明人 SUBRAMANIAN BALAKUMAR;LEE KONG HEAN;ZHENG ZHOU;XIAN BIN WANG
分类号 H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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