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发明名称 Entwicklungsverfahren, Substratbehandlungsverfahren und Substratsbehandlungseinrichtung
摘要
申请公布号 DE10339915(A8) 申请公布日期 2004.09.30
申请号 DE2003139915 申请日期 2003.08.29
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, TOKIO/TOKYO 发明人 ITOH, MASAMITSU;YONEDA, IKUO;SAKURAI, HIDEAKI
分类号 G03F7/30;H01L21/027;H01L21/304;(IPC1-7):G03F7/30 主分类号 G03F7/30
代理机构 代理人
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