发明名称 |
Method and device for isolating plate-like substrates |
摘要 |
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申请公布号 |
AU777067(B2) |
申请公布日期 |
2004.09.30 |
申请号 |
AU20010011368 |
申请日期 |
2000.10.12 |
申请人 |
ACR AUTOMATION IN CLEANROOM GMBH |
发明人 |
JOSEF GENTISCHER |
分类号 |
B28D5/04;B28D5/00;B65G49/07;(IPC1-7):B28D5/00 |
主分类号 |
B28D5/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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