| 发明名称 |
Werkwijze voor het vervaardigen van een vrijstaand substraat. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL1023033(C2) |
申请公布日期 |
2004.09.30 |
| 申请号 |
NL20031023033 |
申请日期 |
2003.03.28 |
| 申请人 |
STICHTING VOOR DE TECHNISCHE WETENSCHAPPEN |
发明人 |
PAULUS ROBERTUS HAGEMAN |
| 分类号 |
B81C1/00;C23C16/01;C23C16/448;C30B25/02;C30B25/18;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/01;C30B33/00 |
主分类号 |
B81C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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