| 发明名称 | 含有金属化合物的气体的检测剂及检测方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种含有金属化合物的气体的检测剂及检测方法，可以不受伴随气体氨等的影响，高灵敏度且容易地检测出从半导体制造工序中排出的气体中含有的金属化合物。该检测剂在载体上作为变色成分载持有吡啶基偶氮化合物。另外，通过将含有金属化合物的气体与上述检测剂接触，检测该检测剂的变色，来检测金属化合物。 | ||
| 申请公布号 | CN1532539A | 申请公布日期 | 2004.09.29 |
| 申请号 | CN200410006984.0 | 申请日期 | 2004.03.03 |
| 申请人 | 日本派欧尼株式会社 | 发明人 | 大塚健二;名和洋二;田山竜规 |
| 分类号 | G01N21/78 | 主分类号 | G01N21/78 |
| 代理机构 | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人 | 刘激扬 |
| 主权项 | 1.一种检测剂，用于检测含有金属化合物的气体，其特征是在载体上作为变色成份载持有吡啶基偶氮化合物。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||