| 发明名称 | MgB<SUB>2</SUB>超导薄膜的原位热丝化学气相沉积制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种新型超导材料-MgB<SUB>2</SUB>薄膜的原位热丝化学气相沉积制备方法。其要点是：该方法使用含B和Mg的气态化合物作反应气，其在热丝(4)作用下裂解，反应生成MgB<SUB>2</SUB>化合物并在基片(6)上生长成为薄膜。用该方法制备的MgB<SUB>2</SUB>超导薄膜具有如下特征：薄膜中不含MgO杂相，超导零电阻转变温度T<SUB>c0</SUB>达到35K，这是目前国际上报道的原位制备的MgB<SUB>2</SUB>超导薄膜T<SUB>c0</SUB>的最高值。 | ||
| 申请公布号 | CN1168847C | 申请公布日期 | 2004.09.29 |
| 申请号 | CN02108906.X | 申请日期 | 2002.03.30 |
| 申请人 | 燕山大学 | 发明人 | 田永君;王天生;迟振华;胡前库;罗晓光;漆汉宏 |
| 分类号 | C23C16/38 | 主分类号 | C23C16/38 |
| 代理机构 | 秦皇岛市维信专利事务所 | 代理人 | 鄂长林 |
| 主权项 | 1.一种MgB2超导薄膜的原位热丝化学气相沉积制备方法，其特征在于：将真空室(10)抽真空到10-1Pa的背景压力，通入10∶(1-2)比例混合的氩气和氢气稀释气体；加热基片(6)至350-500℃；加热热丝(9)至900-1200℃；加热坩锅(3)至600-650℃使Mg蒸发，随即通入氩气稀释的10％体积含量的硼烷反应气体；并用质量流量计(1)、(11)控制混合的氩气和氢气稀释气体和氩气稀释的10％体积含量的硼烷反应气体的流量，工作压力为130-160Pa；硼烷裂解与Mg蒸气反应生成MgB2化合物或在基片(6)表面反应生成MgB2化合物并在基片(6)上生长成为薄膜。 | ||
| 地址 | 066004河北省秦皇岛市河北大街西段438号 | ||