| 发明名称 |
Vapor generating method and apparatus using same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0878560(B1) |
申请公布日期 |
2004.09.29 |
| 申请号 |
EP19980108929 |
申请日期 |
1998.05.15 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
KOMINO, MITSUAKI;UCHISAWA, OSAMU |
| 分类号 |
C23C16/448;B01F3/04;B01F5/04;B01F15/00;B01F15/06;H01L21/00;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C16/448 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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