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发明名称
摘要
申请公布号
JPS4410458(Y1)
申请公布日期
1969.04.26
申请号
JP19660049732U
申请日期
1966.05.27
申请人
发明人
分类号
H01L21/683;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02
主分类号
H01L21/683
代理机构
代理人
主权项
地址
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