发明名称 |
具有空腔的电子器件及其制造方法 |
摘要 |
本发明关于具有一半导体芯片之一电子器件与其制造方法。在此例中,半导体芯片(4)之顶面(7)具有电路结构(5),其形成一空腔(2)之底部区域,每一个空腔(2)被一塑料制的空腔架构(8)所围绕且具有半导体材料所制之一空腔覆盖物(2)。 |
申请公布号 |
CN1532901A |
申请公布日期 |
2004.09.29 |
申请号 |
CN200410039913.0 |
申请日期 |
2004.03.10 |
申请人 |
因芬尼昂技术股份公司 |
发明人 |
R·艾格纳;A·奥布格;F·戴彻;G·埃赫勒;A·梅克斯;H·特尤斯;M·维伯 |
分类号 |
H01L21/50;H03H3/00;H03H9/25 |
主分类号 |
H01L21/50 |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
梁永 |
主权项 |
1.制造具空腔(2)之电子器件(1)于一半导体芯片(4)上之一表面区域(3)之方法,包括-提供一具有半导体芯片位置之半导体晶圆,其具有被提供具有空腔(2)于预定之表面区域(3)中之电路结构(5),-施加一以图样化之塑料层(6)至该半导体晶圆上,具有该被提供具有空腔(2)而无填充且具有空腔架构(8)之组成之电路结构(5)之顶面,-施加一第一粘着膜(9)到该半导体晶圆之背面,且预先交叉连接该粘着膜(9),-分开该半导体晶圆为第一半导体芯片(4),具有粘附之粘着膜(9),-施加该半导体芯片(4)到一金属架以形成具有半导体芯片(4)之粘着键合之无平坦导体壳体且固化该粘着膜(9)于该半导体芯片(4)之背面(19)上,-制造键合连接(11)于半导体芯片(4)顶面(7)上之接点区域(12)以及该金属架之外部接点(14)之内侧区域(13)之间,-以半导体芯片(15)覆盖该空腔架构(8),其具有一粘着膜(17)于他们的背面(16),-封装该半导体芯片(4)于一塑料壳体组成(18)中,-分开该金属架为个别的电子器件(1)。 |
地址 |
联邦德国慕尼黑 |