首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 Apparatus for and method of cleaning object to be processed
摘要
申请公布号 EP0855736(B1) 申请公布日期 2004.09.29
申请号 EP19980300484 申请日期 1998.01.23
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 KAMIKAWA, YUJI;UENO, KINYA;NAKASHIMA, SATOSHI
分类号 H01L21/304;B08B3/04;B08B3/08;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com