| 发明名称 | 保持器的制造方法、致动器的制造方法以及滑动部件的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供能够精确形成一对臂部长度的保持器的制造方法、致动器的制造方法以及滑动部件的制造方法。本发明的滑动部件(1)的制造方法包括：在第一基板(60)的两面(61、62)相对位置上形成一对沟槽(70、71)的工序；形成有一对沟槽的两面上分别接合第二基板(80)与第三基板(80)的接合工序；从该第一基板的端部(60a)至一对沟槽的位置对接合有第二基板与第三基板的第一基板进行蚀刻并使第二基板与第三基板中的第一基板侧的一部分面露出，从而形成一对臂部(42、42)的工序；第二基板与第三基板中与第一基板相反一侧的面上分别安装压电元件(30、30)的工序；在一对臂部之间安装磁头滑块(10)的工序。 | ||
| 申请公布号 | CN1532956A | 申请公布日期 | 2004.09.29 |
| 申请号 | CN200410008852.1 | 申请日期 | 2004.03.24 |
| 申请人 | TDK株式会社 | 发明人 | 东条裕志 |
| 分类号 | H01L41/22;H01L41/09;H02N2/00 | 主分类号 | H01L41/22 |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种保持器的制造方法，其特征在于，该方法具有：在第一基板的两面的相对位置上形成一对沟槽的沟槽形成工序；形成有所述一对沟槽的所述两面上分别接合第二基板与第三基板的接合工序；以及从该第一基板的端部至所述一对沟槽的位置，对接合有所述第二基板与所述第三基板的所述第一基板进行蚀刻，由此，使所述第二基板与所述第三基板中的所述第一基板一侧的一部分面露出，从而形成一对臂部的蚀刻工序。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||