发明名称 Gas delivery metering tube
摘要
申请公布号 EP1276031(B1) 申请公布日期 2004.09.29
申请号 EP20020254962 申请日期 2002.07.15
申请人 ASML US, INC. 发明人 DEDONTNEY, JAY BRIAN;DESA, ANTHONY;KURITA, SAMUEL
分类号 F16L55/00;C23C16/44;C23C16/455;F17D1/04;G05D7/01;H01J37/32;H01L21/205;(IPC1-7):G05D7/01 主分类号 F16L55/00
代理机构 代理人
主权项
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