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经营范围
发明名称
Gas delivery metering tube
摘要
申请公布号
EP1276031(B1)
申请公布日期
2004.09.29
申请号
EP20020254962
申请日期
2002.07.15
申请人
ASML US, INC.
发明人
DEDONTNEY, JAY BRIAN;DESA, ANTHONY;KURITA, SAMUEL
分类号
F16L55/00;C23C16/44;C23C16/455;F17D1/04;G05D7/01;H01J37/32;H01L21/205;(IPC1-7):G05D7/01
主分类号
F16L55/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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