发明名称 |
一种场发射显示器的制作方法 |
摘要 |
本发明提供一种场发射显示器的制作方法,其包括如下步骤:(1)提供一种工作板;(2)根据预定的显示点阵在工作板上沉积栅极电极;(3)在栅极上形成一层绝缘介质膜;(4)在绝缘介质膜上沉积催化剂层;(5)根据上述预定的显示点阵在催化剂层上形成绝缘层,使该绝缘层的相应于显示点阵的位置留有一空间;(6)通过化学气相沉积法在上述绝缘层的空间内,催化剂层上生长碳纳米管阵列;(7)在碳纳米管阵列上沉积阴极电极;(8)封装阴极电极并去除工作板;(9)用湿法刻蚀工艺去除绝缘层;(10)与带有阳极电极的荧光屏封装。 |
申请公布号 |
CN1532866A |
申请公布日期 |
2004.09.29 |
申请号 |
CN03114064.5 |
申请日期 |
2003.03.26 |
申请人 |
清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
发明人 |
刘亮;范守善 |
分类号 |
H01J1/304;H01J9/02;H01J9/00 |
主分类号 |
H01J1/304 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
1.一种制作场发射显示器的方法包括如下步骤:(1)提供一种工作板;(2)根据预定的显示点阵在工作板上沉积栅极电极;(3)在栅极上形成一层绝缘介质膜;(4)在绝缘介质膜上沉积催化剂层;(5)根据上述预定的显示点阵在催化剂层上形成绝缘层,使该绝缘层的相应于显示点阵的位置留有一空间;(6)通过化学气相沉积法在上述绝缘层的空间内,催化剂层上生长碳纳米管阵列;(7)在碳纳米管阵列上沉积阴极电极;(8)封装阴极电极并去除工作板;(9)用湿法刻蚀工艺去除绝缘层与显示点阵相应的部分;(10)与带有阳极电极的荧光屏封装。 |
地址 |
100084北京市海淀区清华大学物理系 |