敏射线树脂组合物及其改进其防干性蚀刻性能的方法

摘要

一个能够显著改进敏射线树脂组合物的防干性蚀刻性能的方法，其中能形成优良的图案，同时保持高敏感性和高清晰度，以及一个由此制得的敏射线树脂组合物。该敏射线树脂组合物包含有碱溶性树脂，敏射线物质以及荧光材料，该荧光材料的加入量是相对于每100重量份的敏射线物质为0.0001-1.0重量份，其中该碱溶性树脂的重均分子量比较与上述敏射线树脂组合物具有相同敏感性的，但不含有感光增强剂的敏射线树脂组合物中的碱溶性物质的重均分子量至少高5％。

主权项

1.一个含有碱溶性树脂，敏射线物质的敏射线树脂组合物，其特征是，所述敏射线树脂组合物还含有作为感光增强剂的荧光材料，其中的碱溶性树脂的重均分子量比起始的敏射线树脂组合物中的碱溶性树脂的重均分子量至少高5％，所述起始的敏射线树脂组合物也含有碱溶性树脂和敏射线物质，但不含有感光增强剂。