| 摘要 |
Eljárás rezgő szerkezetű giroszkóp előállítására, amely szilíciumbólkészült, lényegében sík gyűrűs rezgő szerkezetű (1), és a rezgőszerkezet (1) mozgását előidéző, valamint mozgását érzékelő kapacitívhajtószerve (5) és érzékelő- szerve (6), továbbá azokat körülvevőárnyékolórétege (15) van. Egy lemezszerű, üvegből vagy szilíciumbólkészült hordozó (7) egyik felületére első fotoreziszt anyagrétegetvisznek fel. Ennek keményítésével, mintázásával és előhívásával ahordozó (7) kiválasztott területeit szabaddá teszik. A hordozó (7)szabaddá tett területeit maratják, és ezzel üregeket (10) alakítanakki benne, majd a maradvány első fotoreziszt anyagréteget eltávolítjáka hordozóról (7). Ezt követően a hordozó (7) üreges felületére egyszilíciumréteget (8) rögzítenek, majd annak a hordozótól (7) távol esőfelületére egy alumíniumréteget visznek fel, annak a szilíciumrétegtőltávol eső felületére egy második fotoreziszt anyagréteget visznek fel.Ennek keményítésével, mintázásával és előhívásával az alumíniumrétegkiválasztott területeit szabaddá teszik, azokat maratják, és ezzel aszilíciumrétegen (8) az árnyékolóréteg (15) test- potenciálra kötésételősegítő, alumíniumból készült kontaktozási fémezést (11), akapacitív hajtószerv (5) és érzékelőszerv (6) csatlakozási pontjaitalkotó kontaktozási fémezéseket (12, 13), és a lényegében sík gyűrűalakú rezgő szerkezet (1) villamos csatlakoztatására szolgálókontaktozási fémezést (14) alakítanak ki. A maradvány másodikfotoreziszt anyagréteget eltávolítják az alumíniumrétegről. Ezután aszilíciumrétegre (8) és a maradék alu- míniumréteg területekre egyharmadik fotoreziszt anyagréteget visznek fel. Ennek keményítésével,mintázásával és előhívásával a szilíciumréteg (8) kiválasztottterületeit szabaddá teszik. Ezután ezeken a területeken mélyreaktívionmarással kialakítják a kapacitív hajtószervet (5) ésérzékelőszervet (6), a körülvevő árnyékolóréteget (15) és a lényegébensík gyűrű alakú rezgő szerkezetet (1). Ez így a hordozó (7) üregei(10) felett egy, a gyűrű alakú rezgő szerkezet (1) oszcillálását,valamint a kapacitív hajtószerv (5), érzékelőszerv (6), árnyékolóréteg(15) és gyűrű alakú rezgő szerkezet egymástól való villamoselszigetelését lehetővé tevő agyon (4) van felszerelve. ŕ |
