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发明名称 HIGH-PURITY ALUMINUM SPUTTER TARGETS
摘要
申请公布号 IL161701(D0) 申请公布日期 2004.09.27
申请号 IL20020161701 申请日期 2002.10.23
申请人 PRAXAIR S.T. TECHNOLOGY, INC. 发明人
分类号 C22F1/00;C22F1/04;C23C14/34;(IPC1-7):C22F 主分类号 C22F1/00
代理机构 代理人
主权项
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