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发明名称 PROCEDE ET DISPOSITIF POUR LA GRAVURE DE SUBSTRAT PAR PLASMA INDUCTIF A TRES FORTE PUISSANCE
摘要
申请公布号 FR2842388(B1) 申请公布日期 2004.09.24
申请号 FR20020008729 申请日期 2002.07.11
申请人 ALCATEL 发明人 PUECH MICHEL
分类号 H05H1/46;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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