| 主权项 |
1.一种晶圆盒之载具,其包括:一载具本体,其用以承载至少一晶圆盒;一盖件,系装设于该载具本体上,而于该盖件与该载具本体之间形成一容置空间,以容置该晶圆盒;以及一避震装置,装设于该载具本体上,该避震装置具有一斜向避震器,俾获致该载具之一避震效果。2.如申请专利范围第1项所述之载具,其中该盖件系具有一第一及一第二盖板,用以盖住该载具内之一第一及一第二晶圆盒,且该盖件为一淡黄色透明盖。3.如申请专利范围第2项所述之载具,其中该晶圆盒系为一运输用之晶圆盒(FOSB),且该第一盖板具有一箝制部位,以箝制该第二盖板之开启。4.如申请专利范围第2项所述之载具,其中该第一及该第二盖板系分别装设有一第一及一第二盖板轴,以旋转该第一及该第二盖板至一第一及一第二开启位置。5.如申请专利范围第4项所述之载具,其中该第二盖板系装设有一连接板片,以连接该第二盖板轴,该第二开启位置即为一水平位置。6.如申请专利范围第2项所述之载具,其中该第一及该第二盖板系各具有一第一及一第二开启把手,以利于开启该第一及该第二盖板。7.如申请专利范围第2项所述之载具,其中该第一盖板装设有一支撑气压棒,以支撑该第一盖板。8.如申请专利范围第2项所述之载具,其中该载具本体系具有一容置底槽,以容置该第二盖板之滑入隐藏。9.如申请专利范围第2项所述之载具,其中该载具本体系具有一活动隔板,以方便该第二晶圆盒之置入该载具本体。10.如申请专利范围第2项所述之载具,其中该载具本体系具有一推杆,以推动该载具本体,且该第一及该第二盖板均经过一抗静电处理。11.如申请专利范围第1项所述之载具,其中该避震装置系具有一滚轮,该斜向避震器系固设在一第一定位轴与该滚轮之间,且该斜向避震器以该第一定位轴为一第一旋转轴心。12.如申请专利范围第11项所述之载具,其中该避震装置系具有一固定基座及二转动板片,该二转动板片即固设在该固定基座与该滚轮之间,该固定基座装设有一第二定位轴,该转动板片即以该第二定位轴为一第二旋转轴心,且该滚轮装设有一滚轮轴,以衔接该转动板片。13.如申请专利范围第12项所述之载具,其中该避震装置之该二转动板片系装设有一加劲连杆,以加强该二转动板片之连动劲度,且该固定基座系装设有一定位轴板,以固定该第一定位轴。14.如申请专利范围第11项所述之载具,其中该滚轮具有一延长轴心,以固设该斜向避震器。15.如申请专利范围第1项所述之载具,其系为一手推车,且该载具本体具有一定位机构,以固定该载具于一运送车辆上。16.如申请专利范围第1项所述之载具,其中该载具本体系装设有一第一及一第二防撞边条,以防止该载具本体之一侧部撞击。17.一种晶圆盒之载具,其包括:一载具本体,其用以承载至少一晶圆盒;一盖件,系装设于该载具本体上,而于该盖件与该载具本体之间形成一容置空间,以容置该晶圆盒;以及一避震装置,装设于该载具本体上,俾获致该载具之一避震效果。18.如申请专利范围第17项所述之载具,其中该避震装置系具有一斜向避震器,以获致该避震效果。19.一种晶圆盒之载具,其包括:一载具本体,其用以承载至少一晶圆盒;一避震装置,装设于该载具本体上;以及一斜向避震器,装设于该避震装置上,俾获致该载具之一避震效果。20.如申请专利范围第19项所述之载具,更包括一盖件,系装设于该载具本体上,而于该盖件与该载具本体之间形成一容置空间,以容置该晶圆盒。图式简单说明:第一图:系先前技术之一避震脚轮的侧视示意图;第二图:系本创作之晶圆盒的载具之较佳实施例之立体示意图;第三图:系第二图之晶圆盒的载具之活动隔板被扳起的之立体示意图;第四图:是第二图之晶圆盒的载具之盖件闭合完成后的立体示意图;第五图:是第二图中的避震装置之爆开示意图;以及第六图:是第二图之晶圆盒的载具之定位机构的立体示意图。 |
