| 主权项 |
1.一种节省清洗用水的制程方法,该方法包含下列步骤:(a)透过一再生清洗液供应单元将再生清洗液注入该清洗单元;(b)该清洗单元利用步骤(a)所注入之再生清洗液,并透过其快速排放冲洗法之清洗装置而进入快速排放冲洗法之清洗制程,且最后将使用后的清洗液废液输送至一废液排放单元;(c)该废液排放单元将步骤(b)所输送之废液导引至它处储存或排放出去;(d)将一清洗液供应单元所产生的清洗液注入该清洗单元;(e)该清洗单元利用步骤(d)所注入之清洗液,并透过其快速排放冲洗法之清洗装置而进入快速排放冲洗制程,且将产生的清洗废液输送至一回收单元;(f)该回收单元将步骤(e)中所输送之废液回收并进行适当的过滤;(g)一检测单元针对步骤(f)所回收并完成过滤之滤液进行检测,以判断是否要将该滤液回收使用;(h)该废液排放单元将步骤(g)中判断为不回收使用之滤液导引至它处储存或排放出去,且再回到步骤(d)继续清洗;(i)一储存单元储存步骤(g)中判断为可回收使用之滤液;(j)将该储存单元所储存之再生清洗液输送至该再生清洗液供应单元。2.依据申请专利范围第1项所述之节省清洗用水的制程方法,其中,该步骤(c)完成后增加一步骤,使得该清洗单元中的控制装置判断步骤(a)至(c)之快速排放冲洗制程是否达到所设定之重复次数,若不足该次数,则再重复执行步骤(a)、(b)及(c),若以达到该次数,则进入步骤(d)。3.依据申请专利范围第1项所述之节省清洗用水的制程方法,其中,步骤(e)之快速排放冲洗制程系替换为层流洗净制程。4.依据申请专利范围第1项所述之节省清洗用水的制程方法,该步骤(j)完成后,增加以下步骤:(k)该清洗液供应单元产生清洗液注入该清洗单元;(l)该清洗单元利用步骤(k)所注入之清洗液,透过其层流洗净法之清洗装置而进入层流洗净制程,且将产生的清洗废液轮送至该回收单元;(m)该回收单元将步骤(l)中所输送之废液回收并适当的过滤;(n)该检测单元针对步骤(m)所回收并完成过滤之滤液进行检测,已判断是否要将该滤液回收使用;(o)该废液排放单元将步骤(n)中判断为不回收使用之滤液导引至它处储存或排放出去,且再回到步骤(k)继续清洗;(p)该储存单元储存步骤(n)中判断为可回收使用之滤液;(q)该储存单元所储存之再生清洗液输送至该再生清洗液供应单元中。5.依据申请专利范围第1项所述之节省清洗用水的制程方法,该步骤(j)完成后增加一步骤,使得该清洗单元中的控制装置判断步骤(d)至(e)之快速排放冲洗制程是否达到所设定之重复次数,若不足该次数,则会回到步骤(d)继续执行。6.依据申请专利范围第5项所述之节省清洗用水的制程方法,接着该步骤(j)而完成设定冲洗次数后,增加以下步骤:(k)该清洗液供应单元产生清洗液注入该清洗单元;(l)该清洗单元利用步骤(k)所注入之清洗液,透过其层流洗净法之清洗装置而进入层流洗净制程,且将产生的清洗废液输送至该回收单元;(m)该回收单元将步骤(l)中所输送之废液回收并进行适当的过滤;(n)该检测单元针对步骤(m)所回收并完成过滤之滤液进行检测,以判断是否要将该滤液回收使用;(o)该废液排放单元将步骤(n)中判断为不回收使用之滤液导引至它处储存或排放出去,且再回到步骤(k)继续清洗;(p)该储存单元储存步骤(n)中判断为可回收使用之滤液;(q)该储存单元所储存之再生清洗液输送至该再生清洗液供应单元中。7.依据申请专利范围第3项所述之节省清洗用水的制程方法,该步骤(j)完成后增加一步骤,使得该清洗单元中的控制装置判断步骤(d)至(e)制程是否达到所设定之重复次数,若不足该次数,则会回到步骤(d)继续执行。8.一种节省清洗用水的制程系统,其包含:一清洗液供应单元,其系可提供快速排放冲洗制程后段或层流洗净制程所需之清洗液;一清洗单元,其系具有提供进行快速排放冲洗法或层流洗净法之清洗装置及一可控制整个清洗制程之控制装置;一回收单元,其系可回收且同时过滤该清洗单元中快速排放冲洗制程后段或层流洗净制程所产生的清洗废液;一检测单元,其系透过其感测装置判断该回收单元所回收之清洗废液的污染程度,而决定其系待排放之废液或可回收使用的再生清洗液;一废液排放单元,其系作为排放前述清洗单元之快速排放冲洗制程前段中所产生的清洗废液以及该检测单元所判断需排放之清洗废液;一储存单元,其系储存该检测单元判断可回收使用之再生清洗液,并备存以提供后续制程使用;一再生清洗液供应单元,其系利用该储存单元所储存之再生清洗液提供前述清洗单元之快速排放冲洗制程前段使用。9.依据申请专利范围第8项所述之节省清洗用水的制程系统,该清洗液系去离子水。10.依据申请专利范围第8项所述之节省清洗用水的制程系统,该检测单元中具有量测回收废液的导电値或欧姆値的装置。11.依据申请专利范围第8项所述之节省清洗用水的制程系统,该检测单元中具有检测有机化合物含量之装置。图式简单说明:第一图为显示习用清洗技术制程之系统架构图;第二图为显示习用清洗技术制程之方法流程图;第三图为显示习用清洗技术制程之用水量及排水量示意图;第四图为显示本发明节省清洗用水制程之系统架构图;第五A及五B图说明本发明的第一实施例之流程图;第六图说明第一实施例之用水量及排水量示意图。 |
