发明名称 Reducing asymmetrically deposited film induced registration error
摘要 Methods, systems, products and apparatuses are disclosed herein relating to registration and asymmetrically deposited films, and more specifically, to reducing asymmetrically deposited film induced registration measurement error.
申请公布号 US6795747(B2) 申请公布日期 2004.09.21
申请号 US20020122786 申请日期 2002.04.15
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 BYERS ERIK;BOWES STEVE W.
分类号 G03F7/20;G03F9/00;(IPC1-7):G06F19/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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