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发明名称 EMISSIVITY-CHANGE-FREE PUMPING PLATE KIT IN A SINGLE WAFER CHAMBER
摘要
申请公布号 KR20040081124(A) 申请公布日期 2004.09.20
申请号 KR20047010834 申请日期 2003.01.15
申请人 发明人
分类号 C23C16/455;C23C16/44;C23C16/46;H01L21/00;H01L21/205 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
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