以雷射光束处理用于至少一电元件之载体的方法与装置

摘要

本发明关于以雷射光束处理用于至少一电元件之载体的方法，其系将雷射光束导向载体。本发明也关于以雷射光束处理用于至少一电元件之载体的装置，其包括具有导向机构的雷射源，该导向机构连接于雷射源，以将雷射光束导向物体来做处理；以及包括具有气体进给的壳罩，该气体进给乃安排成至少部分围绕着雷射源。