利用预蚀刻玻璃基材以降低事后释放时间的方法

摘要

本案系为一种利用预蚀刻玻璃基材以降低事后释放时间的方法，其步骤包含提供一玻璃基材、一微小结构物、及一矽基底座；将该玻璃基材与该微小结构物接合；对该玻璃基材进行一第一蚀刻制程，以缩减该玻璃基材与该微小结构物之接触面积；将该微小结构物与该矽基底座结合；以及对该玻璃基材进行一第二蚀刻制程，以将该玻璃基材由该微小结构物上去除。