发明名称 有助于电弧喷涂涂布之硬体特征设计
摘要 一于溅镀室工件上形成一涂布层的方法与设备。该设备一般包含一具有至少一工件之溅镀室。该至少一工件一般包含一或多个沟渠形成其中,该等沟渠为用于定义电弧喷涂涂布区域。该方法一般包含形成一或多个沟渠于工件中,定义涂布区域之该等沟渠,并使用电弧喷涂于涂布区域上形成金属涂布层。
申请公布号 TW200417624 申请公布日期 2004.09.16
申请号 TW092131597 申请日期 2003.11.11
申请人 应用材料股份有限公司 发明人 刘亚伦贝利;邹健雄;常詹姆士
分类号 C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人 蔡坤财
主权项
地址 美国