利用FIB-CVD之微小立体构造物之制造方法、微小立体构造物之描绘系统

摘要

提供一种使用FIB－CVD之微小立体构造物之制造方法及微小立体构造物之描绘系统，其能制造3维微小立体构造物，特别是没有台状构造或中空构造等支撑部分的构造物。根据电子计算机设计之微小立体构造物之三维模型计算出沿高度方向切割之截面形状，作出积层构造之离散描绘资料，据此来决定光束之照射位置、照射时间，藉由控制会聚离子束来制作微小立体构造物。