研磨垫整理器及其制造方法

摘要

一种研磨垫整理器，此研磨垫整理器具有一底层与复数个钻石颗粒。其中此些钻石颗粒系镶嵌于底层之一表面上，并且钻石颗粒露出底层表面的部分系具有相同的高度，并且此些钻石颗粒露出底层表面的高度，系小于最小钻石颗粒的一半高度。以使得研磨垫调整器不会因为钻石颗粒高度不均而刮伤研磨垫的表面，并能够避免钻石颗粒的脱落。