具有防止化学溶剂回溅的气体喷嘴之洗边机台

摘要

此处揭露了一种装设于洗边手臂上之气体喷嘴。此洗边手臂会沿着基板边缘循环绕行，并喷洒化学溶剂至基板边缘表面，而溶解附着于基板边缘之部份光阻材料。此洗边手臂并具有一抽气管线，用以抽除喷洒于基板表面之化学溶剂与溶解的光阻微粒。其中，气体喷嘴系装设于洗边手臂上缘，并具有一向前延伸的钩状喷口，勾绕于洗边手臂前端。钩状喷口之喷出气体方向正相对于上述抽气管线之开口，以防止洗边手臂喷洒出来之化学溶剂回溅于基板内侧。