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发明名称 FOKUSRINGE
摘要
申请公布号 DE69825630(D1) 申请公布日期 2004.09.16
申请号 DE1998625630 申请日期 1998.12.11
申请人 LAM RESEARCH CORP., FREMONT 发明人 DHINDSA, RAJINDER;TOKUNAGA, KEN;SINGH, VIKRAM
分类号 H05H1/46;C23C16/505;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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