| 发明名称 |
Halbleiterscheibenträger mit CVD-Filmbeschichtung aus Siliciumcarbid |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69726278(T2) |
申请公布日期 |
2004.09.16 |
| 申请号 |
DE19976026278T |
申请日期 |
1997.09.03 |
| 申请人 |
NIPPON PILLAR PACKING CO., LTD. |
发明人 |
INOUE, KAZUO |
| 分类号 |
C23C16/32;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
C23C16/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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