| 发明名称 |
Verfahren zur Verbesserung der Wärmebeständigkeit von Wolframsilicid |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19838106(B4) |
申请公布日期 |
2004.09.16 |
| 申请号 |
DE19981038106 |
申请日期 |
1998.08.21 |
| 申请人 |
MOSEL VITELIC INC., HSINCHU;PROMOS TECHNOLOGIES, INC.;SIEMENS AG |
发明人 |
YEH, TA-HSUN |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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