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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Energiestabilisierung einer gasentladungsgepumpten, in definierten Impulsfolgen betriebenen Strahlungsquelle, insbesondere zur sogenannten Overshoot-Unterdrückung von Excimerlasern und EUV-Quellen im Burstbetrieb. DOLLAR A Die Aufgabe, eine neue Möglichkeit zur Stabilisierung der Energieabstrahlung einer gasentladungsgepumpten, in definierten Impulsfolgen (Bursts) betriebenen Strahlungsquelle zu finden, die eine Berücksichtigung eines vorübergehenden Verhaltens der Strahlungsquelle am Beginn jedes Burst ohne wiederholte Neukalibrierung der Energie-Spannungs-Kurve gestattet, wird bei einem Verfahren mit einer Proportionalregelung der Ladespannung in Abhängigkeit der gemessenen Impulsenergie erfindungsgemäß gelöst, indem die für einen aktuellen Impuls einzustellende Impulsenergie E¶n¶·(p)· im aktuellen Burst aus der Impulsenergie des vorangegangenen Impulses im aktuellen Burst und einem gleichen Impuls E¶n¶·(p-1)· eines älteren Vorgänger-Burst berechnet wird, wobei der Vorgänger-Burst ein ungeregelter Vorbildburst ist, und die aktuell einzustellende Hochspannung für den aktuellen Impuls aus der aktuellen Impulsenergie E¶n¶·(p)· durch Division mit dem Anstieg dE/dU der Funktion der Impulsenergie in Abhängigkeit von der Ladespannung im linearen Arbeitsbereich der Strahlungsquelle errechnet wird.
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