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发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung mit einer Speicherknotenstruktur
摘要
申请公布号 DE19860052(B4) 申请公布日期 2004.09.16
申请号 DE19981060052 申请日期 1998.12.23
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 NISHIMURA, HIROAKI;MAMETANI, TOMOHARU;NAGAI, YUKIHIRO;KINUGASA, AKINORI;KISHIDA, TAKESHI
分类号 H01L27/04;F02D41/00;F02M25/08;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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